講演情報
[22a-12G-6][第55回講演奨励賞受賞記念講演] 交流電圧を印加した金属板上に形成されるイオンシースの時間分解レーザー誘起蛍光計測（Ⅱ）
〇高橋 良輔1、鬼頭 聖弥1、江利口 浩二1、占部 継一郎1 (1.京大院工)
キーワード：
プラズマ計測,レーザー誘起蛍光法,イオンシース挙動
低温プラズマプロセスでは，交流バイアスによる被プロセス材料へのイオン照射エネルギー制御が重要である．我々は，イオン挙動制御の高精度化には交流バイアス周期内のイオン速度分布（IVDF）変化を捉える必要があると考え，レーザー誘起蛍光（LIF）法を用いた時間分解計測に取り組んできた．本発表では，100 kHz程度の交流電圧を金属板に印加した場合における時間分解LIF計測結果を報告し，シースダイナミクスに関する考察を行う．