[22a-13M-1~9] 3.6 Laser processing (formerly 3.7)

9:30 AM - 9:45 AM JST(12:30 AM - 12:45 AM UTC)

[22a-13M-1] Formation of homogeneous LIPSS on ZnO by two-beam interference of femtosecond laser pulses

〇Junji Morimoto^1,2, Bai Shi¹, Kotaro Obata¹, Yoshiki Nakata³, Godai Miyaji², Koji Sugioka¹ (1.RIKEN RAP, 2.Tokyo Univ. of A.&T., 3.Osaka Univ.)

Keywords:

laser processing,femtosecond laser pulse,Interference

アブレーション閾値近傍のフルエンスをもつ直線偏光の超短パルスレーザーを照射することで、偏光方向に依存したナノ周期構造(Laser-Induced Periodic Surface Structures, LIPSS)が形成される。しかし、一般的に形成されたLIPSSの周期は空間的に不均一であり、大面積領域に形成したLIPSSを構造色や表面増強ラマン分光等に利用する場合、位置によって特性が変化してしまう。実用的な応用のためには、周期や構造が均一なLIPSSの形成が強く求められている。これまでに我々は直線偏光のフェムト秒レーザーのフルエンスを厳密に制御することによって、LIPSS中の溝の数を制御でき、かつ一本の溝のみ（単一ナノ溝）をも形成できることを報告した。この成果をもとに、本研究では均一なLIPSSを大面積に形成する技術の開発を行った。