講演情報
[22a-13M-1]フェムト秒レーザー二光束干渉法によるZnO基板への均一LIPSSの形成
〇森本 純至1,2、白 石1、小幡 孝太郎1、中田 芳樹3、宮地 悟代2、杉岡 幸次1 (1.理研 光量子、2.農工大、3.大阪大)
キーワード：
レーザー加工,フェムト秒レーザー,干渉
アブレーション閾値近傍のフルエンスをもつ直線偏光の超短パルスレーザーを照射することで、偏光方向に依存したナノ周期構造(Laser-Induced Periodic Surface Structures, LIPSS)が形成される。しかし、一般的に形成されたLIPSSの周期は空間的に不均一であり、大面積領域に形成したLIPSSを構造色や表面増強ラマン分光等に利用する場合、位置によって特性が変化してしまう。実用的な応用のためには、周期や構造が均一なLIPSSの形成が強く求められている。これまでに我々は直線偏光のフェムト秒レーザーのフルエンスを厳密に制御することによって、LIPSS中の溝の数を制御でき、かつ一本の溝のみ（単一ナノ溝）をも形成できることを報告した。この成果をもとに、本研究では均一なLIPSSを大面積に形成する技術の開発を行った。