[22a-21C-1~7] 15.4 III-V-group nitride crystals

9:45 AM - 10:00 AM JST(12:45 AM - 1:00 AM UTC)

[22a-21C-1] Fabrication of GaN Topological PhC and Observation of Propagation at Green to Blue Region

〇Hinaki Sugiura¹, Yamato Takano¹, Umito Kurabe¹, Xiao Hu⁴, Akihiko Kikuchi^1,2,3 (1.Sophia Univ., 2.Sophia Photonics Research Center, 3.Sophia Semiconductor Research Institute, 4.WPI-MANA, National Institute for Materials Science)

Keywords:

Nitride Semiconductor,Photonic Crystal,Topological

フォニック結晶(PhC)にトポロジーの概念を導入したトポロジカルPhCが注目されている。我々は、これまでに低損傷ナノ加工技術であるHEATEとAlInN犠牲層の選択エッチングを用いてメンブレン型GaN系トポロジカルPhCを作製し、赤～黄色波長帯でのトポロジカルエッジ伝搬を実証した。本研究では、微細加工条件の改善を行い、より短波長の緑～青域でのトポロジカル伝搬を観測をしたので報告する。