[22a-21C-1~7] 15.4 III-V族窒化物結晶

9:45 〜 10:00

[22a-21C-1] メンブレン型GaNトポロジカルPhCの作製および緑～青域トポロジカルエッジ伝搬の観測

〇杉浦 雛姫¹、高野 大和¹、倉邊 海史¹、胡 暁⁴、菊池 昭彦^1,2,3 (1.上智大理工、2.上智大フォトニクス研、3.上智大半導体研、4.物材機構 WPI-MANA)

キーワード：

窒化物半導体,フォトニック結晶,トポロジカル

フォニック結晶(PhC)にトポロジーの概念を導入したトポロジカルPhCが注目されている。我々は、これまでに低損傷ナノ加工技術であるHEATEとAlInN犠牲層の選択エッチングを用いてメンブレン型GaN系トポロジカルPhCを作製し、赤～黄色波長帯でのトポロジカルエッジ伝搬を実証した。本研究では、微細加工条件の改善を行い、より短波長の緑～青域でのトポロジカル伝搬を観測をしたので報告する。