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2:45 PM - 3:00 PM JST(5:45 AM - 6:00 AM UTC)

[22p-12A-5]Fabrication of Nano-Scal Thin Film Lithium Niobate Structures

〇Ryoichi Yoshida¹ (1.Yokohama Natl. Univ.)

Keywords:

Lithium Niobate,Thin film Lithium Niobate

薄膜ニオブ酸リチウムは大きな電気光学効果，高い光閉じ込め効果の特長を有し，様々な光学デバイスが研究されている．我々はグレーティングカプラへの応用を考えており，本研究ではその加工を検討した．加工プロセスではマスクに高エッチング耐性のFOX16レジストを用い，エッチングにはAr ICPを用いた．ガス圧を低圧化したときプラズマの安定性と高エッチングレートを得て，良好な垂直性を持つ構造を得られた．

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