講演情報
[22p-12A-5]薄膜ニオブ酸リチウムナノ構造製作の製作
〇吉田 凌一1 (1.横浜国大院工)
キーワード：
ニオブ酸リチウム,薄膜ニオブ酸リチウム
薄膜ニオブ酸リチウムは大きな電気光学効果，高い光閉じ込め効果の特長を有し，様々な光学デバイスが研究されている．我々はグレーティングカプラへの応用を考えており，本研究ではその加工を検討した．加工プロセスではマスクに高エッチング耐性のFOX16レジストを用い，エッチングにはAr ICPを用いた．ガス圧を低圧化したときプラズマの安定性と高エッチングレートを得て，良好な垂直性を持つ構造を得られた．