[22p-13P-1~11] 9.4 Thermoelectric conversion

1:30 PM - 1:45 PM JST(4:30 AM - 4:45 AM UTC)

[22p-13P-1] Anomalous thermoelectric performance of amorphous Fe-V-W-Al thin films deposited on Si substrate

〇Yuya Tanaka¹, Kavita Yadav¹, Masaharu Matsunami¹, Tsunehiro Takeuchi¹ (1.Toyota Tech. Inst.)

Keywords:

thermoelectric materials

Si基板上に成膜したFe-V-W-Al薄膜がZT = 6を示すことが報告された。本研究では、基板温度、熱処理温度を変化させながらFe-V-W-Al系薄膜試料を作製し、巨大ZTの発現の検証、及び性能向上を目的とした。その結果、特定の条件下で作製した試料においてZT ≅ 6を再現することに成功した。また、ZTを向上させる指針を得たことから、製膜条件や熱電物性の挙動などと共に、性能向上指針を報告する。