[22p-13P-1~11] 9.4 熱電変換

13:30 〜 13:45

[22p-13P-1] Si基板上に成膜したアモルファスFe-V-W-Al薄膜の異常な熱電性能

〇田中 湧也¹、Kavita Yadav¹、松波 雅治¹、竹内 恒博¹ (1.豊田工大)

キーワード：

熱電材料

Si基板上に成膜したFe-V-W-Al薄膜がZT = 6を示すことが報告された。本研究では、基板温度、熱処理温度を変化させながらFe-V-W-Al系薄膜試料を作製し、巨大ZTの発現の検証、及び性能向上を目的とした。その結果、特定の条件下で作製した試料においてZT ≅ 6を再現することに成功した。また、ZTを向上させる指針を得たことから、製膜条件や熱電物性の挙動などと共に、性能向上指針を報告する。