[22p-1BM-1~9] 【Open Symposium】Cutting edge nanotechnology for bio-sensor -Realization of a pandemic-free society with graphene FET sensors capable of rapid detection of human infectious viruses-

3:45 PM - 4:15 PM JST(6:45 AM - 7:15 AM UTC)

[22p-1BM-7] Towards Robust Graphene FET Biosensors

〇Yuka Tokuda¹, Shota Ushiba¹, Tomomi Nakano¹, Takao Ono², Shinsuke Tani¹, Masahiko Kimura¹, Kazuhiko Matsumoto² (1.Murata Manufacturing Co., Ltd., 2.SANKEN, Osaka Univ.)

Keywords:

graphene FET,biosensor

単層グラフェンFETバイオセンサは、構成する全ての原子が表面と接しているため、表面の電荷変化に対し、鋭敏に応答することが期待される。さらに、単層グラフェンのCVD合成により、機械剥離グラフェンでは困難であったグラフェンFET (G-FET) アレイの作製が可能となった。しかし、グラフェンFETはプロセス過程で容易に剥離・汚染が生じるため、均質な特性を担保しつつ量産することは難しい。これまで筆者らはグラフェンFETバイオセンサの社会実装を目指した安定化動作に向けて、様々な取り組みを進めてきた。本講演では、筆者らの最近の取り組みについて報告する。