[22p-1BM-1~9] 【一般公開】ナノテクノロジーを駆使したバイオセンサー最前線 -ヒト感染性ウイルスを迅速に検出可能な グラフェンFETセンサーによるパンデミックのない社会の実現 -

15:45 〜 16:15

[22p-1BM-7] グラフェンFETバイオセンサの安定化に向けて

〇德田 優果¹、牛場 翔太¹、中野 友美¹、小野 尭生²、谷 晋輔¹、木村 雅彦¹、松本 和彦² (1.村田製作所、2.阪大産研)

キーワード：

グラフェンFET,バイオセンサ

単層グラフェンFETバイオセンサは、構成する全ての原子が表面と接しているため、表面の電荷変化に対し、鋭敏に応答することが期待される。さらに、単層グラフェンのCVD合成により、機械剥離グラフェンでは困難であったグラフェンFET (G-FET) アレイの作製が可能となった。しかし、グラフェンFETはプロセス過程で容易に剥離・汚染が生じるため、均質な特性を担保しつつ量産することは難しい。これまで筆者らはグラフェンFETバイオセンサの社会実装を目指した安定化動作に向けて、様々な取り組みを進めてきた。本講演では、筆者らの最近の取り組みについて報告する。