Presentation Information
[22p-P07-19]Thinning of MWNT wiring by focused laser thermal transfer method
〇Ryo Tagami1, Hiroaki Komatsu1, Yosuke Sugita1, Takahiro Matsunami1, Takashi Ikuno1 (1.Tokyo Univ. of Sci.)
Keywords:
carbon nanotube,laser,wiring
カーボンナノチューブ（CNT）は，優れた電気的特性から次世代の配線としてフレキシブルデバイスなどへの応用が期待されている．本研究では，レーザ照射時の熱の伝搬範囲を抑制し，配線幅を減少するプロセス開発を行った．熱の伝搬範囲を抑制するため，(1) レーザの集光，(2) 試料冷却を行った．レーザ照射による熱の伝搬が CNT (MWNT) 配線の配線幅へ及ぼす影響について，CNT 配線の形成メカニズムとともに議論する．