[23a-12E-1~13] 1.6 Ultrasonics

9:45 AM - 10:00 AM JST(12:45 AM - 1:00 AM UTC)

[23a-12E-4] Analysis of Plate Acoustic Waves Resonance Properties and TCF on Thin LiNbO₃ /SiC Plate

〇Noriyuki Watanabe¹, Shoji Kakio¹ (1.University of Yamanashi)

Keywords:

Acoustic waves,Plate waves

薄板化技術の進歩により，様々な板波モードの応用研究が報告されている．しかしRF用途に圧電基板の板厚を合わせると極薄になり非常に脆く製造上も実用的ではない．そこで本報告では，先報告に続き，LiNbO₃ (LN)とSiCとの直接接合構造における板波共振特性向上の可能性と周波数温度特性(TCF)を検討した．