[23a-12E-1~13] 1.6 Ultrasonics

10:30 AM - 10:45 AM JST(1:30 AM - 1:45 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[23a-12E-7] Analysis of propagation properties of longitudinal leaky SAW on LiNbO₃/SiC structure

〇Ryo Takei¹, Masashi Suzuki¹, Shoji Kakio¹, Yasushi Yamamoto² (1.Univ. of Yamanashi, 2.Yamamoto-ADEC LLC.)

Keywords:

SAW,dissimilar material bonding

本報では，RY90°X-LN/4H-SiC上のLLSAW伝搬特性，共振特性を解析した結果を報告する．70°Y90°X-LN/4H-SiC上でh_Al/λ=0.036，h/λ=0.09において，9,400 ~9,600 m/sの範囲で比較的スプリアス応答の小さなLLSAWの応答を示し，1.56 %の比帯域幅 (FBW)，115 dBのアドミタンス比を示した．h/λの増加に伴いQ値の最大値を示すh_Al/λが増加したため，Q値が比較的高く，FBWが1%以上となる条件が選択可能となった．