講演情報
[23a-12E-7]LiNbO3/SiC構造上の縦型漏洩弾性表面波伝搬特性の解析
〇武居 諒1、鈴木 雅視1、垣尾 省司1、山本 泰司2 (1.山梨大、2.山本エイデック)
キーワード：
弾性表面波,異種材料接合
本報では，RY90°X-LN/4H-SiC上のLLSAW伝搬特性，共振特性を解析した結果を報告する．70°Y90°X-LN/4H-SiC上でhAl/λ=0.036，h/λ=0.09において，9,400 ~9,600 m/sの範囲で比較的スプリアス応答の小さなLLSAWの応答を示し，1.56 %の比帯域幅 (FBW)，115 dBのアドミタンス比を示した．h/λの増加に伴いQ値の最大値を示すhAl/λが増加したため，Q値が比較的高く，FBWが1%以上となる条件が選択可能となった．