[23a-12E-1~13] 1.6 Ultrasonics

11:00 AM - 11:15 AM JST(2:00 AM - 2:15 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[23a-12E-8] Fabrication and Evaluation of Piezoelectric Boundary Acoustic Wave Filter for Gate Drive Circuit

〇Kazuya Murakami¹, Masashi Suzuki¹, Shoji Kakio¹, Yutaka Mitsui², Shigeyoshi Goka² (1.Univ. of Yamanashi, 2.Tokyo Metropolitan Univ.)

Keywords:

surface acoustic wave,piezoelectric boundary acoustic wave

本研究では，伝搬路上を誘電体材料で封止することで絶縁特性の改善を目的とし，弾性表面波（Surface Acoustic Wave : SAW)に替えて弾性境界波(Piezoelectric Boundary Acoustic Wave : PBAW)を適用し，ゲート駆動回路に向けたPBAWトランスバーサル型フィルタを作製，評価する．本報告では，共振子型フィルタとして実績があるSiO2/Au/LiNbO3構造を検討した．