講演情報
[23a-12E-8]ゲート駆動回路に向けた弾性境界波フィルタの作製・評価
〇村上 和弥1、鈴木 雅視1、垣尾 省司1、三井 豊2、五箇 繁善2 (1.山梨大、2.都立大)
キーワード：
弾性表面波,弾性境界波
本研究では，伝搬路上を誘電体材料で封止することで絶縁特性の改善を目的とし，弾性表面波（Surface Acoustic Wave : SAW)に替えて弾性境界波(Piezoelectric Boundary Acoustic Wave : PBAW)を適用し，ゲート駆動回路に向けたPBAWトランスバーサル型フィルタを作製，評価する．本報告では，共振子型フィルタとして実績があるSiO2/Au/LiNbO3構造を検討した．