[23a-12E-1~13] 1.6 Ultrasonics

11:15 AM - 11:30 AM JST(2:15 AM - 2:30 AM UTC)

[23a-12E-9] Fabrication of transmission-type gyroscopes using c-axis tilted ScAlN thin films

〇Yuna Koike^1,2, Takahiko Yanagitani^1,2,3,4 (1.Waseda Univ., 2.ZAIKEN, 3.JST-CREST, 4.JST-FOREST)

Keywords:

gyroscope,ultrasonic

ジャイロセンサは、スマートフォンなど様々な分野で応用されており、ジャイロセンサの性能向上と小型化が強く求められている。近年の研究で、新しい形の圧電ジャイロセンサの理論検証が提案されている^[1]。また、先行研究ではAlNにScをドープすることで圧電性が向上することが報告されている。
以上を踏まえて、本研究ではそこで実験的に検証するために、傾斜 c 軸 ScAlN薄膜 を用いて、送受波型ジャイロセンサを作製して評価した。