講演情報
[23a-12E-9]c軸傾斜ScAlN薄膜を用いた送受波型ジャイロセンサの作製
〇小池 由奈1,2、柳谷 隆彦1,2,3,4 (1.早大先進理工、2.材研、3.JST-CREST、4.JST-FOREST)
キーワード：
ジャイロセンサ,超音波
ジャイロセンサは、スマートフォンなど様々な分野で応用されており、ジャイロセンサの性能向上と小型化が強く求められている。近年の研究で、新しい形の圧電ジャイロセンサの理論検証が提案されている[1]。また、先行研究ではAlNにScをドープすることで圧電性が向上することが報告されている。
以上を踏まえて、本研究ではそこで実験的に検証するために、傾斜 c 軸 ScAlN薄膜 を用いて、送受波型ジャイロセンサを作製して評価した。
以上を踏まえて、本研究ではそこで実験的に検証するために、傾斜 c 軸 ScAlN薄膜 を用いて、送受波型ジャイロセンサを作製して評価した。