[23a-12F-1~9] 6.6 Probe Microscopy

10:00 AM - 10:15 AM JST(1:00 AM - 1:15 AM UTC)

[23a-12F-3] [The 45th Young Scientist Award Speech] Quantitative capacitance measurements in FM-EFM on semiconductor

〇Ryota Fukuzawa^1,3, Jianbo Liang⁴, Naoteru Shigekawa⁴, Takuji Takahashi^1,2 (1.IIS,, 2.NanoQuine, 3.The Univ. of Tokyo, 4.Osaka City Univ.)

Keywords:

Atomic force microscopy,Kelvin probe force microscopy

周波数変調型静電引力顕微鏡では、探針先端に作用する静電引力をカンチレバーの共振周波数シフトとして高い空間分解能で精密に測定することが可能である。一方で、半導体試料上においては、取得された周波数シフトの値から空乏層を含む静電容量の定量的な値を算出することは困難であった。今回我々は、独自の定式化による定量測定法の提案を行い、正当性検証実験を行った。