講演情報
[23a-12F-3][第45回論文奨励賞受賞記念講演] 静電引力顕微鏡による半導体上での定量的静電容量測定
〇福澤 亮太1,3、梁 剣波4、重川 直輝4、高橋 琢二1,2 (1.東大生研、2.東大ナノ量子機構、3.東大院工、4.4.大阪市大工)
キーワード：
原子間力顕微鏡,ケルビンプローブフォース顕微鏡
周波数変調型静電引力顕微鏡では、探針先端に作用する静電引力をカンチレバーの共振周波数シフトとして高い空間分解能で精密に測定することが可能である。一方で、半導体試料上においては、取得された周波数シフトの値から空乏層を含む静電容量の定量的な値を算出することは困難であった。今回我々は、独自の定式化による定量測定法の提案を行い、正当性検証実験を行った。