[23a-12H-1~11] 6.1 Ferroelectric thin films

10:00 AM - 10:15 AM JST(1:00 AM - 1:15 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[23a-12H-5] In-situ observation of crystal structure for (100)/(001)-oriented tetragonal Pb(Zr,Ti)O₃ films

〇(M2)MIKI NAKAHATA¹, KAZUKI OKAMOTO¹, KEISUKE ISHIHAMA¹, TAKAO SHIMIZU², TOMOYUKI KOGANEZAWA³, TOMOTAKA NAKATANI³, OSAMI SAKATA³, TOMOAKI YAMADA^4,5, HIROSHI FUNAKUBO¹ (1.Tokyo Tech., 2.NIMS, 3.JASRI, 4.Nagoya Univ., 5.MDX Tokyo Tech.)

Keywords:

piezoelectric response,tetragonal PZT films,domain structure

Pb(Zr, Ti)O₃(PZT)膜の圧電・強誘電特性の計算は単純なドメイン構造では広く検討されてきたが、マルチドメイン構造を持つ系の場合には、ドメイン間の相互作用などの存在によりこれまで十分な検討が行われてこなかった。本研究では、膜厚1400 nmの (100)/(001)配向正方晶PZT膜をSi基板上にエピタキシャル成長させた。電界印加下におけるドメインの面外格子定数および面内格子定数の変化を観察した。