[23a-13M-1~11] 3.6 Laser processing (formerly 3.7)

11:45 AM - 12:00 PM JST(2:45 AM - 3:00 AM UTC)

[23a-13M-11] Improvement of processing resolution for fabrication of 3D nano channels inside transparent fluoropolymer CYTOP

〇Mirai Hanzawa^1,2, Kotaro Obata¹, Felix Sima^1,3, Hiroyuki Kawano^1,4, Kazunari Ozasa¹, Yasutaka Hanada⁵, Godai Miyaji², Atsushi Miyawaki^1,4, Koji Sugioka¹ (1.RIKEN RAP, 2.Tokyo Univ. of A. & T., 3.INFLPR, 4.RIKEN CBS, 5.Hirosaki Univ.)

Keywords:

CYTOP,two-photon microstereolithograph,mold processing

本研究の目的は、これまでに開発してきた2光子光造形法とモールド加工を組み合わせたCYTOP の新しい3次元加工法を改良し、より高い加工分解能で任意の3次元形状のマイクロ・ナノ流体構造を作製する技術を確立することである。本講演では、レーザーパラメータを最適化することによりモールドの加工分解能の改善を行ったので報告する。