講演情報
[23a-13M-11]透明フッ素樹脂材料CYTOP内への３次元ナノチャネル作製に向けた加工分解能の改善
〇半澤 未来1,2、小幡 孝太郎1、シマ フェリックス1,3、河野 弘幸1,4、尾笹 一成1、花田 修賢5、宮地 悟代2、宮脇 敦史1,4、杉岡 幸次1 (1.理研 光量子、2.東京農工大、3.INFLPR、4.理研 CBS、5.弘前大理工)
キーワード：
CYTOP,2光子光造形,モールド加工
本研究の目的は、これまでに開発してきた2光子光造形法とモールド加工を組み合わせたCYTOP の新しい3次元加工法を改良し、より高い加工分解能で任意の3次元形状のマイクロ・ナノ流体構造を作製する技術を確立することである。本講演では、レーザーパラメータを最適化することによりモールドの加工分解能の改善を行ったので報告する。