Presentation Information
[23a-31A-7]Development of Kr2 Excimer Lamp using Rocksalt-structured MgZnO Emitting in 190-220 nm region
〇Kotaro Ogawa1,2, Hideki Yajima2, Go Kobayashi2, Wataru Kosaka1, Hiroya Kusaka1, Toshiki Mitomi1, Tomohiro Yamaguchi1, Tohru Honda1, Kentaro Kaneko3, Shizuo Fujita3, Izumi Serizawa2, Takeyoshi Onuma1 (1.Kogakuin Univ., 2.ORC Manufacturing, 3.Kyoto Univ.)
Keywords:
MgZnO,Mist CVD,UV lamp
4.5~7.7 eVの広いバンドギャップをもつ岩塩構造(RS)酸化マグネシウム亜鉛(MgZnO)は、深紫外線及び真空紫外線領域における新たな発光材料として期待される。今回、波長146 nmを輝線とするKr2エキシマランプをベースに、RS-MgxZn1-xOを蛍光層に応用した紫外線蛍光ランプを試作し、波長202 nmをピークとする蛍光を観測した内容について報告する。