講演情報
[23a-31A-7]190-220 nmで蛍光するKr2エキシマ励起岩塩構造MgZnOランプの開発
〇小川 広太郎1,2、矢島 英樹2、小林 剛2、高坂 亘1、日下 皓也1、三富 俊希1、山口 智広1、本田 徹1、金子 健太郎3、藤田 静雄3、芹澤 和泉2、尾沼 猛儀1 (1.工学院大、2.オーク製作所、3.京都大)
キーワード:
酸化マグネシウム亜鉛,ミスト化学気相成長,紫外線ランプ
4.5~7.7 eVの広いバンドギャップをもつ岩塩構造(RS)酸化マグネシウム亜鉛(MgZnO)は、深紫外線及び真空紫外線領域における新たな発光材料として期待される。今回、波長146 nmを輝線とするKr2エキシマランプをベースに、RS-MgxZn1-xOを蛍光層に応用した紫外線蛍光ランプを試作し、波長202 nmをピークとする蛍光を観測した内容について報告する。