[23a-P05-1~14] 3.13 Optical control devices and optical fibers (formerly 3.14)

[23a-P05-1] Fabrication and evaluation of gratings of SiN waveguides for optical phased arrays

〇Junichi Shibasaki¹, Masato Miura¹, Yuji Miyamoto¹, Masakazu Nanba¹, Kenichi Aoshima¹, Nobuhiko Funabashi¹, Kenji Machida¹, Yoshikuni Hirano¹ (1.NHK STRL)

Keywords:

Optical Phased Array,SiN,emitter

光フェーズドアレイ（Optical Phased Array: OPA）は可動部がない小型・軽量な光制御デバイスであり、通信や測距応用を目指して研究が行われている。我々は3次元表示応用を目指して、電気光学ポリマーを変調部に適用し、出射部（エミッターアレイ）を窒化珪素（SiN）としたOPAの研究を行っている。今回、ディスプレイ応用に向けたひとつの目安として面直方向を中心に20°の範囲に出射できるエミッターを設計し、試作と評価を行ったので報告する。