Presentation Information

[23p-11E-2]High-beam quality operation of 500 μm-diameter GaN-based PCSEL

〇Masahiro Jutori1,2, Tomoaki Koizumi2,1, Kei Emoto2,1, Menaka De Zoysa1, Shunsuke Morimoto1, Kenji Ogawa1, Atsushi Kitamura1, Takuya Inoue1, Kenji Ishizaki1, Masahiro Yoshida1, Shumpei Katsuno1, Susumu Noda1 (1.Kyoto Univ., 2.Stanley Electric)

Keywords:

photonic crystal laser

フォトニック結晶レーザー(PCSEL)は,活性層近傍に配置したフォトニック結晶をレーザー共振器として用いる,高出力・高ビーム品質の両立が可能な光源である.我々は,このような PCSEL の材料系に GaN 系半導体を採用し,青色領域の PCSEL の開発を進め,これまで, 共振器サイズ 300µmΦ ,400µmΦにおいてパルスおよび CW 駆動での高出力・高ビーム品質動作の両立を実現してきた.今回は,共振器サイズをさらに 500µmΦ まで拡大したデバイスの設計・作製・評価を行い,高ビーム品質の動作が実現できた結果等を報告する.