[23p-11E-1~9] CS.4 3.10 フォトニック構造・現象、3.12 半導体光デバイスのコードシェアセッション

14:00 〜 14:15

[23p-11E-2] 直径 500μm GaN 系 PCSEL の高ビーム品質動作

〇十鳥 雅弘^1,2、小泉 朋朗^2,1、江本 渓^2,1、De Zoysa Menaka¹、森本 俊介¹、小川 健志¹、北村 篤史¹、井上 卓也¹、石崎 賢司¹、吉田 昌宏¹、勝野 峻平¹、野田 進¹ (1.京大院工、2.スタンレー電気)

キーワード：

フォトニック結晶レーザー

フォトニック結晶レーザー(PCSEL)は，活性層近傍に配置したフォトニック結晶をレーザー共振器として用いる，高出力・高ビーム品質の両立が可能な光源である．我々は，このような PCSEL の材料系に GaN 系半導体を採用し，青色領域の PCSEL の開発を進め，これまで， 共振器サイズ 300µmΦ ，400µmΦにおいてパルスおよび CW 駆動での高出力・高ビーム品質動作の両立を実現してきた．今回は，共振器サイズをさらに 500µmΦ まで拡大したデバイスの設計・作製・評価を行い，高ビーム品質の動作が実現できた結果等を報告する．