Presentation Information
[23p-11E-6]Low-leakage InGaAs single-photon avalanche diode using inverted structure.
〇Yuki Yamada1, Ikue Hiraoka1, Fumito Nakajima1 (1.NTT Device Technology Labs.)
Keywords:
semiconductor,avalanche photodiode,single photon detection
単一光子アバランシェダイオード(SPAD)は、極低温の冷却機構を必要としない単一光子検出器であり、量子情報通信の実用に有望な技術である。本報告では、反転型構造により局所的なブレークダウンによるリークを抑制し、SPADのDCR低減に有効であることを示した。