Presentation Information
[23p-12G-13]Evaluation of surface charge of alumina insulator coated with TiO2 thin films
〇AKIO OGURA1, Souichi Katagiri1, Yuanzhao Yao1, Hiromitsu Nogi1, Ryu Hasunuma1 (1.Univ. of Tsukuba)
Keywords:
discharge,surface charge,vacuum
真空における沿面放電の発生原因の一つである絶縁物表面の帯電を緩和する手法が検討されている。本発表では、Al2O3基板表面上にシート抵抗2.7×1012 Ω/sq.のTiO2薄膜を作製し、帯電除去の評価を行った。ランプ電圧、DC電圧を印加した時の表面電位測定において、TiO2の無いAl2O3基板では微小放電によって表面が強く正帯電するのに対し、TiO2有するAl2O3基板では正帯電が除去され、DC印加時でも表面帯電が増加しないことが分かった。