講演情報
[23p-12G-13]TiO2薄膜コーティングしたアルミナ表面の帯電評価
〇小倉 暁雄1、片桐 創一1、姚 遠昭1、野木 広光1、蓮沼 隆1 (1.筑波大)
キーワード：
放電,表面帯電,真空
真空における沿面放電の発生原因の一つである絶縁物表面の帯電を緩和する手法が検討されている。本発表では、Al2O3基板表面上にシート抵抗2.7×1012 Ω/sq.のTiO2薄膜を作製し、帯電除去の評価を行った。ランプ電圧、DC電圧を印加した時の表面電位測定において、TiO2の無いAl2O3基板では微小放電によって表面が強く正帯電するのに対し、TiO2有するAl2O3基板では正帯電が除去され、DC印加時でも表面帯電が増加しないことが分かった。