Presentation Information

[23p-12L-9]Controlling carrier concentration of SnS thin films by reactive sputtering in N2-Ar mixture gas and sulfurization

〇Taketo Tsuchiyama1, Mutsumi Sugiyama1,2 (1.Tokyo Univ. Sci., 2.RIST)

Keywords:

SnS,carrier concentration,nitrogen doping

本研究では、N2-Ar混合ガスを用いた反応性スパッタ法及びSnS粉末を用いた硫化処理を行い、SnS薄膜のキャリア濃度制御を試みた。