Presentation Information
[23p-12L-9]Controlling carrier concentration of SnS thin films by reactive sputtering in N2-Ar mixture gas and sulfurization
〇Taketo Tsuchiyama1, Mutsumi Sugiyama1,2 (1.Tokyo Univ. Sci., 2.RIST)
Keywords:
SnS,carrier concentration,nitrogen doping
本研究では、N2-Ar混合ガスを用いた反応性スパッタ法及びSnS粉末を用いた硫化処理を行い、SnS薄膜のキャリア濃度制御を試みた。