[23p-12L-1~10] 13.9 化合物太陽電池

15:45 〜 16:00

[23p-12L-9] N₂-Ar混合ガスを用いた反応性スパッタ法及び硫化処理によるSnS薄膜のキャリア濃度制御

〇土山 岳斗¹、杉山 睦^1,2 (1.東理大　創域理工、2.東理大　総研)

キーワード：

硫化スズ,キャリア濃度,窒素添加

本研究では、N₂-Ar混合ガスを用いた反応性スパッタ法及びSnS粉末を用いた硫化処理を行い、SnS薄膜のキャリア濃度制御を試みた。