Presentation Information
[23p-12M-10]Creation and optical evaluation of glassy thin films for optical nonlinear applications
〇Masatoshi Onoe1, Takuma Nakamura1, Nobuaki Terakado1, Takumi Fujiwara1, Osamu Komeda2, Hiroyuki Suto2 (1.Tohoku Univ., 2.Higashi-fuji Inst.)
Keywords:
electro-optic effect,sputtered thin film
透明性と配向特性を同時に併せ持つSrO–TiO2–SiO2系の結晶化ガラス1,2) の薄膜を種々の基板上やフレキシブル媒体へ成膜することで光学的なアクティブ機能（電気光学効果による屈折率制御）の付与が可能となる．本発表では，その実現に向けた基礎・要素評価段階としてスパッタ法による成膜，透過率等の光学特性，ガラス結晶化挙動などについて報告する．