講演情報
[23p-12M-10]光非線形応用に向けたガラス薄膜の創製と光学評価
〇尾上 正敏1、中村 拓真1、寺門 信明1、藤原 巧1、米田 修2、須藤 裕之2 (1.東北大院工、2.トヨタ（株）東富士研)
キーワード：
電気光学効果,スパッタ薄膜
透明性と配向特性を同時に併せ持つSrO–TiO2–SiO2系の結晶化ガラス1,2) の薄膜を種々の基板上やフレキシブル媒体へ成膜することで光学的なアクティブ機能（電気光学効果による屈折率制御）の付与が可能となる．本発表では，その実現に向けた基礎・要素評価段階としてスパッタ法による成膜，透過率等の光学特性，ガラス結晶化挙動などについて報告する．