Presentation Information
[23p-12N-7]In-situ monitoring and shape control system for laser plume in PLD method
〇Shuntaro Yamazaki1, Yusuke Ichino2, Ataru Ichinose3, Keiichi Horio4, Tomoya Horide1, Kaname Matsumoto1, Yutaka Yoshida1 (1.Nagoya Univ., 2.Aichi Inst. of Tech., 3.CRIEPI, 4.Kyushu Inst. of Tech.)
Keywords:
superconductivity
PLD法で発生するプルームは実験条件によって色調や形状が変化するほか、レーザーの劣化やターゲットの形状などの要因によっても形状が変化する。これにより超伝導線材作製において、同一の成膜条件においても安定した特性を得られないという課題が示唆されている。そこで今回、デジタルカメラによってプルームのカラー情報やサイズ情報をリアルタイムで収集することで薄膜作製のフィードバック制御を行うことを検討した。