講演情報
[23p-12N-7]PLD法におけるレーザープルームのIn-situモニタリング及び形状制御システムの構築
〇山崎 春太朗1、一野 裕亮2、一瀬 中3、堀尾 恵一4、堀出 朋哉1、松本 要1、吉田 隆1 (1.名大工、2.愛工大、3.電中研、4.九工大)
キーワード：
超伝導
PLD法で発生するプルームは実験条件によって色調や形状が変化するほか、レーザーの劣化やターゲットの形状などの要因によっても形状が変化する。これにより超伝導線材作製において、同一の成膜条件においても安定した特性を得られないという課題が示唆されている。そこで今回、デジタルカメラによってプルームのカラー情報やサイズ情報をリアルタイムで収集することで薄膜作製のフィードバック制御を行うことを検討した。