Presentation Information
[23p-13M-5]Formation of tetrapod-like periodic surface microstructures fabricated by circularly polarized GHz burst mode femtosecond laser pulses
〇Shota Kawabata1,2, Shi Bai1, Kotaro Obata1, Kazunari Ozasa1, Godai Miyaji2, Koji Sugioka1 (1.RIKEN RAP, 2.Tokyo Univ. of Agri. and Tech.)
Keywords:
femtosecond laser,GHz burst mode,laser-induced periodic surface structures (LIPSS)
パルス間隔が数100 psの超高繰り返しフェムト秒（fs）レーザーパルス列で構成されるGHzバーストモードfsレーザーは、従来のfsレーザーパルスの照射方式（シングルパルスモード）と比較して、高品質・高効率・高速な材料加工への応用が期待されている。直線偏光のGHzバーストモードfsレーザー光をSiやTi表面に集光照射すると、直線偏光シングルパルスモードで形成される偏光方向に垂直な１次元のレーザー誘起表面周期構造（1D-LIPSS）に加えて、平行な方向にも周期性を有する新奇2次元LIPSS（2D-LIPSS）が形成されることを見出した。一方、円偏光シングルパルスモードfsレーザー光を固体表面に集光照射すると、ナノドット状のLIPSSを形成することがよく知られている。本研究では、円偏光GHzバーストモードfsレーザーをTi表面に照射することにより、新しい表面微細周期構造形成の可能性を検討した。