講演情報
[23p-13M-5]円偏光GHzバーストモードフェムト秒レーザーによるTi表面へのテトラポット様表面微細構造の形成
〇川端 祥太1,2、白 石1、小幡 孝太郎1、尾笹 一成1、宮地 悟代2、杉岡 幸次1 (1.理研 光量子、2.農工大)
キーワード：
フェムト秒レーザー,GHzバーストモード,レーザー誘起表面周期構造（LIPSS）
パルス間隔が数100 psの超高繰り返しフェムト秒（fs）レーザーパルス列で構成されるGHzバーストモードfsレーザーは、従来のfsレーザーパルスの照射方式（シングルパルスモード）と比較して、高品質・高効率・高速な材料加工への応用が期待されている。直線偏光のGHzバーストモードfsレーザー光をSiやTi表面に集光照射すると、直線偏光シングルパルスモードで形成される偏光方向に垂直な１次元のレーザー誘起表面周期構造（1D-LIPSS）に加えて、平行な方向にも周期性を有する新奇2次元LIPSS（2D-LIPSS）が形成されることを見出した。一方、円偏光シングルパルスモードfsレーザー光を固体表面に集光照射すると、ナノドット状のLIPSSを形成することがよく知られている。本研究では、円偏光GHzバーストモードfsレーザーをTi表面に照射することにより、新しい表面微細周期構造形成の可能性を検討した。