[23p-1BM-1~16] 12.7 Biomedical Engineering and Biochips

4:00 PM - 4:15 PM JST(7:00 AM - 7:15 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[23p-1BM-10] Fabrication of CMOS Potential Sensor Array for Odor Sensing Enabling Simultaneous Operation of Multiple Sensitive Membranes

〇Tomoki Kamijo¹, Yasuyuki Kimura¹, Yoshiko Noda¹, Daisuke Akai¹, Takeshi Hizawa¹, Yong-Joon Choi¹, Kazuhiro Takahashi¹, Kazuaki Sawada¹, Toshihiko Noda¹ (1.Toyohashi University of Technology)

Keywords:

Gas Sensor,CMOS Array Sensors,Gas Membrane

本研究ではチャネル不純物濃度とWell電位の調整により，画素内センシングトランジスタの閾値を調整する動作可能範囲調整画素を提案する．提案した画素での正常な動作を特性検証用画素を用いて確認した，また，提案手法によりアンモニアを用いたガスセンシングが計測可能であることを実証した．動作可能範囲調整画素を用いれば多数の感応膜を同一バイアス電圧で動作させる事が可能になり，多角的な情報の取得につながる。