講演情報
[23p-1BM-10]複数感応膜の同時動作を可能にした においセンシング用 CMOS 電位センサアレイの作製
〇上條 友暉1、木村 安行1、野田 佳子1、赤井 大輔1、飛沢 健1、崔 容俊1、高橋 一浩1、澤田 和明1、野田 俊彦1 (1.豊橋技術科学大学)
キーワード：
ガスセンサ,CMOSアレイセンサ,ガス感応膜
本研究ではチャネル不純物濃度とWell電位の調整により，画素内センシングトランジスタの閾値を調整する動作可能範囲調整画素を提案する．提案した画素での正常な動作を特性検証用画素を用いて確認した，また，提案手法によりアンモニアを用いたガスセンシングが計測可能であることを実証した．動作可能範囲調整画素を用いれば多数の感応膜を同一バイアス電圧で動作させる事が可能になり，多角的な情報の取得につながる。