[23p-22A-1~8] 15.5 Group IV crystals and alloys

2:45 PM - 3:00 PM JST(5:45 AM - 6:00 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[23p-22A-8] Consideration on Asymmetric Broadening of SiGe Raman Spectrum

〇Ryo Yokogawa^1,2, Sho Sugawa¹, Yuiha Maeda¹, Yasutomo Arai³, Ichiro Yonenaga⁴, Atsushi Ogura^1,2 (1.Meiji Univ., 2.MREL, 3.JAXA, 4.Tohoku Univ.)

Keywords:

SiGe,Raman spectroscopy,Phonon

ラマン散乱は結晶中の歪、組成、温度に敏感であり、薄膜やデバイス評価に幅広く用いられている。SiGeラマンスペクトルは、組成によってラマンシフトが変化し、同時に低エネルギー側に非対称ブロードニングが生じるが、その起源に関する詳細な解析は行われていない。本講演ではX線非弾性散乱法で得られたフォノン分散と空間相関モデルを組み合わせることで、SiGeラマンスペクトルを詳細に解析したので報告する。