講演情報

[23p-22A-8]SiGeラマンスペクトルの非対称ブロードニングに関する考察

〇横川 凌1,2、寿川 尚1、前田 唯葉1、荒井 康智3、米永 一郎4、小椋 厚志1,2 (1.明治大理工、2.明治大MREL、3.JAXA、4.東北大)

キーワード:

SiGe,ラマン分光法,フォノン

ラマン散乱は結晶中の歪、組成、温度に敏感であり、薄膜やデバイス評価に幅広く用いられている。SiGeラマンスペクトルは、組成によってラマンシフトが変化し、同時に低エネルギー側に非対称ブロードニングが生じるが、その起源に関する詳細な解析は行われていない。本講演ではX線非弾性散乱法で得られたフォノン分散と空間相関モデルを組み合わせることで、SiGeラマンスペクトルを詳細に解析したので報告する。