Presentation Information
[23p-P05-31]Detection sensitivity improvement of FIB-SIMS and its application
〇Minoru Akutsu1, Tomonori Hiki1, Masao Yoshikawa1 (1.ROHM Co., Ltd.)
Keywords:
FIB,SIMS,Dopant
微量元素の検出に用いられる二次イオン質量分析法(SIMS)の一次イオンビームに集束イオンビーム(FIB)を用いたFIB-SIMSを導入し、その特長について検証中。昨年FIB-SIMS で半導体中のドーパントが検出可能であることを示したが、その感度は従来のTOF-SIMS 検出器と比較して1 桁程度悪いものとなっていた。本報告では検出感度が向上できるか検討。FIB の条件やデータ解析手法を工夫することで検出下限を向上できることがわかった。