[23p-P05-1~65] 1 応用物理学一般（ポスター）

[23p-P05-31] FIB-SIMSの検出感度向上とその応用

〇阿久津 稔¹、比氣 朋典¹、吉川 政夫¹ (1.ローム株式会社)

キーワード：

集束イオンビーム,二次イオン質量分析,不純物

微量元素の検出に用いられる二次イオン質量分析法(SIMS)の一次イオンビームに集束イオンビーム(FIB)を用いたFIB-SIMSを導入し、その特長について検証中。昨年FIB-SIMS で半導体中のドーパントが検出可能であることを示したが、その感度は従来のTOF-SIMS 検出器と比較して1 桁程度悪いものとなっていた。本報告では検出感度が向上できるか検討。FIB の条件やデータ解析手法を工夫することで検出下限を向上できることがわかった。