Presentation Information
[23p-P05-36]Improvement of mechanical strength of beam structure SU-8 membrane by Os coating
〇Akihiro Matsutani1, Mie Tohnishi1, Sakurako Yoshida2 (1.Tokyo Tech, OFC, 2.Meiwafosis)
Keywords:
osmium,SU-8,coating
MEMSやマイクロ流体デバイスで用いられるエポキシ系の永久レジストSU-8は，Si基板上に形成したパターンの下部の基板を除去して片持ち梁構造とすると，応力により大きな反りが発生する。これは両持ち梁構造でも同様で，梁構造の変形を抑制するには，表面の補強などの手段が必要となる。今回は，SU-8の梁構造にOsをコーティングして機械的強度を向上させることを目的とし，SU-8の両持ち梁構造に荷重をかけながら走査することで，Osコーティング厚さと変形量の関係について測定したので報告する。