講演情報
[23p-P05-36]OsコーティングによるSU-8膜の梁構造の機械的強度の向上
〇松谷 晃宏1、遠西 美重1、吉田 桜子2 (1.東工大OFC、2.メイワフォーシス)
キーワード：
オスミウム,SU-8,コーティング
MEMSやマイクロ流体デバイスで用いられるエポキシ系の永久レジストSU-8は，Si基板上に形成したパターンの下部の基板を除去して片持ち梁構造とすると，応力により大きな反りが発生する。これは両持ち梁構造でも同様で，梁構造の変形を抑制するには，表面の補強などの手段が必要となる。今回は，SU-8の梁構造にOsをコーティングして機械的強度を向上させることを目的とし，SU-8の両持ち梁構造に荷重をかけながら走査することで，Osコーティング厚さと変形量の関係について測定したので報告する。