[24a-12B-1~12] CS.10 Code-sharing Session of 16.2 & KS.3

12:00 PM - 12:15 PM JST(3:00 AM - 3:15 AM UTC)

[24a-12B-12] Wet Etching Amount Prediction by Machine Learning and Numerical Method with Prefixed Etching Profile

〇Chihiro Matsui¹, Shinsei Yoshikiyo¹, Hiroshi Horiguchi², Ken Takeuchi¹ (1.Univ. Tokyo, 2.SCREEN SPE)

Keywords:

Digital Twin,Wet Etching

枚葉式ウェットエッチング装置のアーム動作に着目し，機械学習および固定プロファイルを用いた数値計算によりエッチング量を予測し比較する。アーム動作をウエハ半径に対するエッチング液の累積吐出時間に変換して予測手法の入力とする。アーム動作と計測したエッチング量に対して，機械学習を用いることでアーム動作からエッチング量を正確に予測できることを示す。