講演情報
[24a-12B-12]機械学習および固定プロファイルを用いた数値計算によるウェットエッチング量予測
〇松井 千尋1、吉清 秦生1、堀口 博司2、竹内 健1 (1.東大工、2.SCREEN SPE)
キーワード：
デジタルツイン,ウェットエッチング
枚葉式ウェットエッチング装置のアーム動作に着目し，機械学習および固定プロファイルを用いた数値計算によりエッチング量を予測し比較する。アーム動作をウエハ半径に対するエッチング液の累積吐出時間に変換して予測手法の入力とする。アーム動作と計測したエッチング量に対して，機械学習を用いることでアーム動作からエッチング量を正確に予測できることを示す。